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簡(jiǎn)要描述:美國(guó)Angstrom Sciences 高功率射頻圓形陰極聯(lián)系張經(jīng)理:I8721868549(VX同號(hào))
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詳細(xì)介紹
品牌 | 其他品牌 | 產(chǎn)地類(lèi)別 | 進(jìn)口 |
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應(yīng)用領(lǐng)域 | 綜合 |
美國(guó)Angstrom Sciences 高功率射頻圓形陰極
只要在結(jié)構(gòu)中納入特定的設(shè)計(jì)標(biāo)準(zhǔn),Angstrom Sciences 高功率射頻圓形磁控管就可以在研發(fā)和生產(chǎn)應(yīng)用中成功實(shí)施。
Angstrom Sciences 高功率射頻圓形磁控管可直接冷卻,外徑為2英寸-8英寸。
因?yàn)樯漕l功率在高頻下工作,所以磁控濺射陰極的設(shè)計(jì)必須能夠控制這種功率。Angstrom Sciences的高功率射頻磁控管設(shè)計(jì)用于在目標(biāo)表面均勻地傳遞射頻能量,同時(shí)提供低反射功率和射頻限制。
高功率射頻磁控管有圓形和線性?xún)煞N配置。
美國(guó)Angstrom Sciences 高功率射頻圓形陰極
美國(guó)Angstrom Sciences, 背板
濺射工藝中使用的背板對(duì)于為您的產(chǎn)品創(chuàng)造高質(zhì)量的薄膜沉積至關(guān)重要。我們提供標(biāo)準(zhǔn)配置和定制尺寸的背板,以滿足您的特定要求。我們還提供完整的粘合服務(wù),以提供完整的解決方案。
Angstrom Sciences 提供定制的背板,以適合任何制造商的陰極。我們的內(nèi)部加工能力使我們能夠根據(jù)原始設(shè)備規(guī)格或定制陰極尺寸制造全系列背板,并具有質(zhì)量控制。
在 Angstrom Sciences,沒(méi)有訂單太小或太大。定制成分沒(méi)有最小批量要求,我們對(duì)客戶(hù)服務(wù)的非凡關(guān)注令業(yè)界羨慕不已。我們通常為平面、圓形和圓柱形濺射靶材提供背板(銅、鉬、銅鉻),為濺射靶材冷卻提供導(dǎo)電漿料和焊盤(pán),并提供鍵合服務(wù),作為我們?yōu)?PVD 社區(qū)提供全面服務(wù)的一部分。
磁體映射套件提供了一種測(cè)量磁控管磁場(chǎng)并將其與磁體陣列的原始分布圖進(jìn)行比較的方法。
可以提供磁成像套件,使用戶(hù)能夠測(cè)量磁控管的場(chǎng)強(qiáng),并確定磁體陣列是否有足夠的損壞或退化以保證更換。
隨著磁控濺射陰極中的磁場(chǎng)減弱,工作電壓和工作壓力將增加,從而對(duì)薄膜質(zhì)量和均勻性產(chǎn)生負(fù)面影響。
擁有磁性診斷工具將允許用戶(hù)確定過(guò)程偏移是由于磁控管還是其他原因引起的。
磁成像套件由分布驗(yàn)證板、高斯計(jì)和探頭組成。映射板設(shè)計(jì)為適合濺射陰極,并鉆有沉頭孔,以便可以在目標(biāo)表面獲取讀數(shù)。這允許一致的放置,并且讀數(shù)可以與每個(gè) Angstrom Sciences 磁控濺射陰極提供的原始磁圖進(jìn)行比較。
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